高精度阻抗控制:高频高速线路板要求电镀层均匀性,以确保阻抗波动控制在极小范围内。如选择性电镀金工艺通过脉冲电镀,可使金层厚度偏差控制在 ±0.1μm,阻抗波动 ±3%。
图形转移:定义线路与镀层区域
涂布高精度光刻胶 / 干膜,通过曝光、显影工艺,将线路图形转移到基材表面。
高频高速板对图形精度要求,需控制线宽 / 线距偏差≤±1μm,避免开窗偏移导致镀层错位。
显影后进行检查修正,去除残留胶渣,确保线路区域完全裸露、非线路区域被保护。
图形电镀:加厚功能镀层
优先采用脉冲电镀或周期反向电镀,在线路裸露区域沉积铜层(厚度 5-15μm),保证镀层结晶细密、低电阻率。
关键区域(如射频接口、连接器)需进行选择性电镀,额外沉积金、银等低损耗镀层,厚度根据需求控制在 0.1-3μm。
电镀过程中严格控制电流密度(1-5A/dm²)、镀液温度(20-30℃)及搅拌速度,确保镀层均匀性与平整度。
去胶与蚀刻:剥离多余金属
用化学脱胶剂或等离子体去除表面光刻胶 / 干膜,露出下方未被电镀覆盖的种子层。
采用微蚀工艺,蚀刻掉多余种子层,仅保留电镀形成的功能线路,控制侧蚀量≤0.5μm。
蚀刻后彻底水洗,避免残留药剂腐蚀镀层或基材。

