核心工艺特点
镀层材质以铜、镍、金、锡为主,适配不同电子场景需求。
对镀层均匀性、厚度精度要求,通常需控制在微米级。
需结合载板材质(如陶瓷、树脂、硅)定制前处理和电镀参数。
面板级加工:扇出型封装常采用面板级封装(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板级电镀设备可加工尺寸高达 515x510 毫米的面板,相比传统晶圆级封装,能提高生产效率,降低成本。
高精度要求:需满足高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)的要求,对镀层均匀性、致密度、附着力、纯度等方面要求,例如铜镀层孔隙率需≤1 个 /cm²。
复杂结构处理:对于埋入式扇出型封装结构,可能存在深宽比较大的通孔,电镀时需要特殊工艺处理,以避免产生空洞等缺陷。
电子载板电镀加工主流工艺类型
电解电镀:适用于大批量、高厚度镀层需求(如铜镀层≥3μm),成本较低,效率高。
化学镀:无需通电,镀层均匀性好,适配复杂结构载板(如盲孔、细线路),常用于打底镀层。
脉冲电镀:减少镀层晶粒大小,提升硬度和耐磨性,适配高频、高功率电子载板。
半加成工艺载板电镀是一种用于制造高精度电子载板的工艺方法,在半导体封装等领域应用广泛。以下是关于它的详细介绍:
工艺原理:半加成法(SAP)的核心是通过 “逐步沉积铜层” 形成电路。先在绝缘基板表面制备超薄导电层,即种子层,再通过光刻技术定义线路图形,对图形区域电镀加厚铜层,去除多余部分后形成完整电路。改良型半加成法(mSAP)则是在基板上预先贴合 3-9μm 的超薄低轮廓铜箔作为基铜,再进行后续操作。
工艺流程
基材准备:使用表面平整的超薄铜箔基板或无铜基材,如 1-2μm 厚铜层的基板或 ABF 薄膜等。
化学沉铜:通过化学沉积在基材表面形成 0.3-0.8μm 的薄铜层,作为导电基底,即种子层。
图形电镀铜:对露出的种子层区域进行电镀加厚,使线路达到设计厚度,通常至 5-15μm,形成导线主体。
去胶与蚀刻:移除光刻胶或干膜,然后蚀刻掉未被电镀覆盖的薄种子层铜,由于种子层厚度极薄,蚀刻侧蚀极小。
表面处理:进行沉金、OSP、沉锡等表面处理,以满足后续封装和焊接等工艺的要求。

